一、項目基本情況
采購項目編號：SZDL**********
采購項目名稱：微納加工中心工藝設(shè)備安裝配套系統(tǒng)
首次公告日期：****年**月**日
二、更正信息
1、 更正事項： “ 招標(biāo)文件 ” 的 第二章招標(biāo)項目需求 ：
五、具體技術(shù)要求 ：
| 序號 | 貨物名稱 | 配置和技術(shù)規(guī)格要求 |
| ** | DRIE安裝配套系統(tǒng) | **.**. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供 D RIE安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、C4F8管道平面布置圖、CHF3管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF6管道平面布置圖、SiF4管道平面布置圖。 |
| ** | RIE安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供 RIE安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF4管道平面布置圖、CHF3管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF6管道平面布置圖。 |
| ** | ICP介質(zhì)安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供 ICP介質(zhì) 安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF4管道平面布置圖、C4F8管道平面布置圖、CHF3管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF6管道平面布置圖、Cl2管道平面布置圖。 |
| ** | ICP金屬安裝配套系統(tǒng) | **.**. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供 ICP金屬 安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF4管道平面布置圖、CHF3管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF6管道平面布置圖、Cl2管道平面布置圖、BCl3管道平面布置圖。 |
| ** | ICPIII-V安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供ICP III-V安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、高純氮氣管道平面布置圖、CH4管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF6管道平面布置圖、H2管道平面布置圖、Cl2管道平面布置圖、BCl3管道平面布置圖、SiCl4管道平面布置圖。 |
| ** | ICPCVD 安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供ICP III-V安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、高純氮氣管道平面布置圖、NH3管道平面布置圖、SiH4管道平面布置圖、CH4管道平面布置圖、CF4管道平面布置圖、He管道平面布置圖、H2管道平面布置圖。 |
| ** | PECVD 安裝配套系統(tǒng) | **.5 ▲提供 PECVD 安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、高純氮氣管道平面布置圖、NH3管道平面布置圖、SiH4管道平面布置圖、N2O管道平面布置圖、CF4管道平面布置圖。 |
| ** | 氣體管道安裝測試要求 | **.1 ★ 投標(biāo)人在投標(biāo)時，須提供加蓋公司公章的氣體管道測試承諾函，承諾管道安裝完成后 按招標(biāo)人要求進行五項測試，包括壓力測試、氦氣檢漏測試、顆粒測試、水分測試、氧分測試。測試項目標(biāo)準(zhǔn)如下： 1) 壓力測試：強度試驗壓力為設(shè)計壓力的1.**倍，持續(xù)**分鐘；氣密性試驗壓力為設(shè)計壓力的1.**倍，**小時內(nèi)壓降≤1%。 2) 氦氣檢漏測試：使用質(zhì)譜型氦檢測儀，精度≥1× ** -** mbar.L/s；漏率≤1×** -9 mbar·L/s。 3) 顆粒測試：顆粒數(shù)：≥0.1~0.3μm的顆?！?*顆粒/m3，連續(xù)三次達標(biāo)。? 4) 水分測試：測試氣源水分<1ppbv；水分增量<**ppbv，穩(wěn)定**分鐘以上。 5) 氧分測試：測試氣源氧分<1ppbv；氧分增量<**ppbv，穩(wěn)定**分鐘以上。 |
更正為：
五、具體技術(shù)要求 ：
| 序號 | 貨物名稱 | 配置和技術(shù)規(guī)格要求 |
| ** | DRIE安裝配套系統(tǒng) | **.**. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供 D RIE安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、C 4 F 8 管道平面布置圖、CHF 3 管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF 6 管道平面布置圖、SiF 4 管道平面布置圖。 |
| ** | RIE安裝配套系統(tǒng) | ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供 RIE安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF 4 管道平面布置圖、CHF 3 管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF 6 管道平面布置圖。 |
| ** | ICP介質(zhì)安裝配套系統(tǒng) | ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供 ICP介質(zhì) 安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF 4 管道平面布置圖、C 4 F 8 管道平面布置圖、CHF 3 管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF 6 管道平面布置圖、Cl 2 管道平面布置圖。 |
| ** | ICP金屬安裝配套系統(tǒng) | ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供 ICP金屬 安裝配套系統(tǒng) 的 電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、CF 4 管道平面布置圖、CHF 3 管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF 6 管道平面布置圖、Cl 2 管道平面布置圖、BCl 3 管道平面布置圖。 |
| ** | ICPIII-V安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供ICP III-V安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、高純氮氣管道平面布置圖、CH 4 管道平面布置圖、HBr管道平面布置圖、He管道平面布置圖、SF 6 管道平面布置圖、H 2 管道平面布置圖、Cl 2 管道平面布置圖、BCl 3 管道平面布置圖、SiCl 4 管道平面布置圖。 |
| ** | ICPCVD 安裝配套系統(tǒng) | **.5. ▲ 投標(biāo)人在投標(biāo)時 提供ICP CVD 安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、氬氣管道平面布置圖、高純氮氣管道平面布置圖、NH 3 管道平面布置圖、SiH 4 管道平面布置圖、CH 4 管道平面布置圖、CF 4 管道平面布置圖、He管道平面布置圖、H 2 管道平面布置圖。 |
| ** | PECVD 安裝配套系統(tǒng) | **.5 ▲提供 PECVD 安裝配套系統(tǒng) 的電力系統(tǒng)圖、排風(fēng)管道平面布置圖、Pumpline平面布置圖、循環(huán)冷卻水平面布置圖、機械泵循環(huán)冷卻水平面布置圖、壓縮空氣管道平面布置圖、氮氣管道平面布置圖、氧氣管道平面布置圖、高純氮氣管道平面布置圖、NH 3 管道平面布置圖、SiH 4 管道平面布置圖、N 2 O管道平面布置圖、CF 4 管道平面布置圖。 |
| ** | 氣體管道安裝測試要求 | **.1 ★ 投標(biāo)人在投標(biāo)時，須提供加蓋公司公章的氣體管道測試承諾函，承諾管道安裝完成后 按招標(biāo)人要求進行五項測試，包括壓力測試、氦氣檢漏測試、顆粒測試、水分測試、氧分測試。測試項目標(biāo)準(zhǔn)如下： 6) 壓力測試：強度試驗壓力為設(shè)計壓力的1.**倍，持續(xù)**分鐘；氣密性試驗壓力為設(shè)計壓力的1.**倍，**小時內(nèi)壓降≤1%。 7) 氦氣檢漏測試：使用質(zhì)譜型氦檢測儀，精度≥1× ** -** mbar.L/s；漏率≤1×** -9 mbar·L/s。 8) 顆粒測試：顆粒數(shù)：0.1~0.3μm的顆?！?*顆/m3，連續(xù)三次達標(biāo)。? 9) 水分測試：測試氣源水分<1ppbv；水分增量<**ppbv，穩(wěn)定**分鐘以上。 **) 氧分測試：測試氣源氧分<1ppbv；氧分增量<**ppbv，穩(wěn)定**分鐘以上。 |
更正日期：**2 5 年 ** 月 ** 日
三、其他補充事宜
采購文件中如有涉及上述內(nèi)容的作相應(yīng)調(diào)整，若本公告與原采購文件內(nèi)容有不同之處，應(yīng)以本公告為準(zhǔn)。投標(biāo)人有義務(wù)在采購活動期間瀏覽相關(guān)網(wǎng)站，在網(wǎng)上公布的與本次采購項目有關(guān)的信息視為已送達各投標(biāo)人。
四、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名稱：深圳技術(shù)大學(xué)
地址：深圳市坪山區(qū)蘭田路****號
聯(lián)系方式：****-********
2.采購代理機構(gòu)
名稱：深圳市合創(chuàng)建設(shè)工程顧問有限公司
地址：深圳市福田區(qū)彩田南路中深花園A座****A室
聯(lián)系方式：****-********
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人： 余工
電話：****-******** 轉(zhuǎn)**8
深圳市合創(chuàng)建設(shè)工程顧問有限公司
**2 5 年 ** 月 **日
