項目概況
東南大學微納平臺接近/接觸式光刻系統(tǒng)采購項目 招標項目的潛在投標人應在e交易平臺（以下簡稱平臺）網址為：https://www.ejy**5.com獲取招標文件，并于****年**月**日 **點**分（北京時間）前遞交投標文件。一、項目基本情況
項目編號：JC******K****8
項目名稱：東南大學微納平臺接近/接觸式光刻系統(tǒng)采購項目
預算金額：**0.****** 萬元（人民幣）
最高限價（如有）：**8.****** 萬元（人民幣）
采購需求：
項目地點：東南大學無錫校區(qū)
項目概況：微納平臺采購接近/接觸式光刻系統(tǒng)一套，主要技術要求如下：
最大襯底尺寸：6英寸圓形，并且在配合對應的夾具時，可以向下兼容各類不同尺寸的襯底及不規(guī)則小片；支持6“晶圓鍵合的夾具一套。
曝光光源：UV LED曝光光源支持 **5nm(i線)， **5nm(h線)， **5nm(g線），支持輸出光譜的任意編輯，可以控制每種波長的輸出光強在關閉或者**%~**0%之間調節(jié)。配置微透鏡陣列式光學系統(tǒng)以適應在不同的工藝條件下對消減衍射影響的要求，可在同一設備上實現(xiàn)“高分辨率”和“大景深”兩種模式曝光，兩種模式隨時切換，切換時間在5分鐘以內。
分辨率：優(yōu)于0.8um (i線，光刻膠厚度1um，真空接觸，等間距圖形)。 優(yōu)于2.5um (i線，光刻膠厚度1um，曝光間隙**um，等間距圖形)。
光強均勻度：優(yōu)于±2.5％，其中在最大晶圓尺寸區(qū)域測量至少9個點。正面對準精度±0.5um，背面對準精度±1.0um。
接受進口產品投標，技術參數(shù)詳見招標文件。
合同履行期限：境外產品：開具信用證后**天內設備安裝調試合格。境內產品：合同簽訂后**天內設備安裝調試合格。
本項目(不接受 )聯(lián)合體投標。
二、申請人的資格要求：
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
無
3.本項目的特定資格要求：3.1滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；（1）具有獨立承擔民事責任的能力（提供法人或者其他組織的營業(yè)執(zhí)照；供應商為自然人的，提供其身份證）； （2）具有良好的商業(yè)信譽和健全的財務會計制度（提供****年度的財務報告，或投標截止時間前六個月內銀行出具的資信證明）；（3）具有履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力（供應商根據(jù)履行采購項目合同需要，提供履行合同所必需的設備和專業(yè)技術能力的證明材料）；（4）有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄（提供參加本次政府采購活動前半年內至少一個月：提供繳納稅收的憑證；提供繳納社會保險的憑據(jù)（專用收據(jù)或社會保險繳納清單）），依法享受免繳、緩繳的，提供證明材料；（5）參加政府采購活動前三年內，在經營活動中沒有重大違法記錄（提供承諾書）；（6）法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件：無3.2落實政府采購政策需滿足的資格要求：無。3.3采購人根據(jù)采購項目的特殊要求規(guī)定的特定條件，并提供符合特殊要求的證明材料或者情況說明：（1）代理商投標且所投產品為進口產品的，還應提供設備制造商或其駐中國辦事機構或其在中國銷售總代理的針對本項目的銷售代理授權委托書，并明確承擔一切售前、售后責任。3.4第3.1（5）條所稱重大違法記錄，是指供應商因違法經營受到刑事處罰或者責令停產停業(yè)、吊銷許可證或者執(zhí)照、較大數(shù)額罰款等行政處罰。3.5 供應商在參加政府采購活動前3年內因違法經營被禁止在一定期限內參加政府采購活動，期限屆滿的，可以參加政府采購活動。3.6單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得參加同一合同項下的政府采購活動。為采購項目提供整體設計、規(guī)范編制或者項目管理、監(jiān)理、檢測等服務的供應商，不得再參加該采購項目的其他采購活動。3.7拒絕列入失信被執(zhí)行人、重大稅收違法案件當事人名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單及其他不符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定條件的供應商參與政府采購活動。采購人或者采購代理機構在進行資格審查的同時，依法通過“中國政府采購網”、“信用中國”網站等渠道查詢投標人信用記錄并保存。
三、獲取招標文件
時間：****年**月**日 至****年**月**日，每天上午9:**至**:**，下午**:**至**:**。（北京時間，法定節(jié)假日除外）
地點：e交易平臺（以下簡稱平臺）網址為：https://www.ejy**5.com
方式：（1）凡有意參加投標者，請于獲取時間內登錄e交易平臺按照要求進行實名會員注冊、完善相關信息及選擇項目報名、下載招標文件，平臺網址為：http://www.ejy**5.com。下載者首次登錄平臺前，須前往平臺免費注冊，注冊成功且完善相關信息后，可以及時參與平臺上所有發(fā)布的項目。 （2）下載者應充分考慮平臺注冊、信息檢查、資料上傳、購標確認、費用支付所需時間，下載者必須在獲取時間內完成支付，否則將無法保證獲取招標文件。未按照本公告要求獲得本項目招標文件的，招標代理機構不予接收其投標文件。 （3）下載者需要發(fā)票的，須通過平臺“資金管理”模塊進行操作。招標文件服務費發(fā)票由招標代理機構開具；下載者選擇開具增值稅普通發(fā)票的，可在“資金管理--標書費電子發(fā)票”下載增值稅電子普通發(fā)票；選擇開具增值稅專用發(fā)票的，可在“資金管理--專用發(fā)票申請”中填寫相關信息；平臺服務費發(fā)票由江蘇易交易信息科技有限公司開具。非因招標代理機構或平臺原因，發(fā)票一經開具不予退換。 （4）平臺網站首頁“幫助中心”提供操作手冊，下載者可以下載并根據(jù)操作手冊提示進行注冊、登錄等操作。易交易平臺技術支持聯(lián)系方式 供應商技術支持熱線：**0-**8-****（工作時間：9:**-**:**,**:**-**:**） 供應商項目參與操作說明：https://www.ejy**5.com/upload/link/****/**/**/**e1dd**-****-4bbf-bfc9-a0d7a**7ba1c.pdf 技術支持服務態(tài)度不滿意投訴熱線：**0-**8-****轉0。 （5）聯(lián)合體投標（如允許）的，聯(lián)合體各方應當指定牽頭人，并授權其以自身名義在平臺辦理注冊、下載文件、繳納保證金等手續(xù)，其在平臺的辦理行為，對聯(lián)合體各方均具有約束力。
售價：￥**0.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點
提交投標文件截止時間：****年**月**日 **點**分（北京時間）
開標時間：****年**月**日 **點**分（北京時間）
地點：南京市鼓樓區(qū)清江南路**號鼓樓創(chuàng)新廣場D棟**樓開標2室投標人前來投標的授權代表，必須為本單位員工，需提供投標人為其繳納的截止至投標截止時間前3個月（****年9月-****年**月）的社保繳納證明材料。投標人因故未出席開標會的，視同同意本項目開標結果。
五、公告期限
自本公告發(fā)布之日起5個工作日。
六、其他補充事宜
1 本項目在中國政府采購網網站發(fā)布公告。
2 投標人應當從采購代理機構合法獲得招標項目的招標文件。本次招標請按“標段”獲取招標文件，編制、提交投標文件，并按“標段”開標、評標。
3勘察現(xiàn)場：無。
4投標人應提供投標文件一式伍份（正本壹份、副本肆份），所有投標文件均應密封后遞交，同時應提供電子版投標文件壹份（電子版須為投標文件正本加蓋公章、簽字后形成PDF掃描件，掃描件內容應與紙質投標文件正本完全一致、U盤形式（單獨封裝）、隨紙質正本文件一并提交）。當電子版文件和紙質正本文件不一致時，以紙質正本文件為準。電子版文件用于輔助評標和平臺存檔，投標人需承擔前述不一致造成的不利后果。
5 行業(yè)劃分：工業(yè)
6 本項目(非專門)面向中小企業(yè)采購。
7 本項目(非專門)面向監(jiān)獄企業(yè)來購。
8 本項目(非專門)面向殘疾人福利性單位采購。
9預算金額：**0萬元（含外貿代理費）
最高限價：**8萬元（不含外貿代理費）
七、對本次招標提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名 稱：東南大學
地址：南京市四牌樓2號
聯(lián)系方式：微納平臺：張老師，電話：****-********； 實驗室與設備管理處：劉老師，電話：**5-********
2.采購代理機構信息
名 稱：江蘇省設備成套股份有限公司
地 址：南京市鼓樓區(qū)清江南路**號鼓樓創(chuàng)新廣場D座9樓**8室
聯(lián)系方式：李晨娟、褚燕琳，（**5）********、********、**********2
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人：李晨娟、褚燕琳
電 話： ?。?*5）********、********、**********2
